ALS200DI (PMI-200DI)

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ALS200DI는 초정밀 차압식(PMI-200DI) 에어 리크 검사기로, 0.0001 kPa(0.1 Pa) 단위의 분해능을 제공하여 미세 누설량이 요구되는 정밀 부품 검사에 최적화된 모델입니다. 밸브 및 공급압력 조절용 전공레귤레이터 외장형(사용자설치) 버전으로 저가형 정밀 측정용으로 고속 안정화 및 고감도 차압 센서를 기반으로 반도체 · 의료기기 등 고정밀 산업군에서 사용됩니다.

주요 사양

디스플레이	3.5" TFT LCD & Touch
측정방식	초정밀 차압식 (Differential)
분해능	0.0001 kPa (0.1 Pa)
정밀도	0.1% FS
출력(IO)	LL, L, H, HH
입력(IO)	공급, Autozero, Hold, 모델 선택
통신	Ethernet / RS232
단위	Pa, kPa, mmH₂O, CC

검사 시퀀스

1. 시작 신호 입력 2. 차압밸브 OPEN, 공급밸브 OPEN → 설정 시간 동안 압력 공급 3. 공급 완료 → 공급밸브 CLOSE, 공급압력 측정 및 출력 4. 평형 시간 경과 → 차압밸브 CLOSE, 평형압력 출력 5. 차압 평형 → 차압 평형압력 출력, 차압 ΔP 측정 시작 6. 목표 ΔP 범위 비교 → LL/L/H/HH 판정 7. 검사 결과 상위 MES/PC로 전송